根據(jù)中國直線電機行業(yè)和國內(nèi)直線電機產(chǎn)業(yè)發(fā)展分析,認(rèn)為目前主要的直線電機組合方式有以下三種:1.高精密直線電機單軸平臺 單軸通常作為X軸使用,CCTL直線電機平臺采用日本原裝THK-P級直線導(dǎo)軌搭配英國Renishaw光柵尺及以色列servotronix驅(qū)動器并配有限位開關(guān)等高端進(jìn)口部件,性能穩(wěn)定可靠,噪音少,壽命長。主要用于半導(dǎo)體、電子生產(chǎn)、研磨類機床、醫(yī)療、工具機、印刷、激光焊接行業(yè)等行業(yè),如晶圓檢測與探測、半導(dǎo)體固晶機、半導(dǎo)體金線焊線機、高速取放與傳送設(shè)備、激光切割、激光雕刻、激光打標(biāo)、3D打印設(shè)備、LCD/TFT生產(chǎn)與檢測平臺等。 2.高精密XY軸十字直線電機平臺 X軸(上)與Y軸(下)組合精度高,均采用高端進(jìn)口零部件。直線電機模組的高加速度、高速度、高精度的優(yōu)勢在本平臺上得以體現(xiàn),同時電機線圈與磁軌為無接觸運行、無磨損、無反向間隙,所以其維護(hù)要求極低。 在微米工程等級的應(yīng)用以及晶圓設(shè)備中尤其重視絕對精度及潔凈室適用性,采用高精度XY直線電機平臺為最佳選擇。3.XYZ龍門直線電機平臺 龍門平臺采用直線電機驅(qū)動和雙軸同步控制技術(shù),具有高加速度、高速度、高穩(wěn)定性和高可靠性等特點。廣泛應(yīng)用于高速測試、激光切割、激光雕刻、高速準(zhǔn)確取放、自動化裝配、圖像檢測、點膠機與包裝等裝置。
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